삼성산 중턱에 있는 삼막사마애삼존불은 삼막사 대웅전 뒤쪽 자연 암벽에 감실을 만들고 부조한 삼존불로 일광보살과 월광보살의 협시를 받는 치성광여래이다. 삼막사에서 관리하고 있으며 경기도 문화재로 지정되었다.
불상 하단에 명문이 새겨져있어 1763년(영조 39년)이라는 정확한 조성연대를 알 수 있는데, 치성광여래마애불의 귀중한 예로서 조선 후기 미술사 연구를 위한 귀중한 자료이다.
마애삼존불의 주존은 전신의 높이 약 1.6m, 협시는 양쪽 모두 약 1.2m로 주존인 치성광여래는 소발의 머리에 작은 육계가 있고 전면에 계주가 표현되었다. 사각형의 얼굴에 눈과 입, 볼 등을 율동감 있게 묘사하여 미소짓는 모습이 중후하고 자비스러운 인상이다. 긴 귀와 얼굴에 바로 어깨가 시작되어 목은 달리 표현되지 않았고, 양어깨에 두꺼운 법의를 걸쳤는데 옷주름은 대체로 간결하면서 도식적으로 처리되었다. 배 앞에서 포갠 두 손에는 원형의 보주를 들고 있다. 좌우 협시 보살상은 각각 연화대 위에서 합장한 모습인데 머리에 해와 달을 표현한 소박한 삼산관을 쓰고 있다. 얼굴은 주존과 비슷하지만 환환 미소 때문에 활력이 넘친다. 법의를 입은 방식과 옷자락이 늘어지면서 형성하는주름 모양은 본존불과 유사하다. 전체적으로 둥글고 부드러운 상호에 두꺼운 법의, 양감이 감소된 신체 등은 18세기 후반 마애불의 특징을 할 수 있게하는 중요한 작품이다.
한편, 마애삼존불의 감실 앞에는 칠보전을 세워 전실역할을 하고 있고, 바로 옆에 남녀근석이 있다. 삼막사까지는 사찰 관계자 또는 사전 허가된 차량이 아니면 출입이 금지되어 있다. 경인교대캠퍼스 쪽 등산로 입구의 삼막사 공영주차장을 이용해 올라야하는데, 차량이 통행하는 포장도로로 걸으면 약 1시간, 등산로로 오르면 약 30분 가량 소요된다. 인근에 평촌중앙공원, 서울랜드, 서울대공원, 렛츠런파크서울, 광명동굴, 광명에디슨뮤지엄 등이 있다.